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高速制備高取向碳化硅
成果領域: 新材料
推廣方式: 技術入股(股權合作)
成果鑒定時間:1970-01-01
成果介紹
高取向碳化硅材料具有優(yōu)秀的熱穩(wěn)定性、耐酸堿腐蝕性、導熱性、 中子吸收截面與力學性能，能夠在極度條件下服役。該項目組已完成了 科技部與國內外多家企業(yè)針對高取向碳化硅的研發(fā)任務，成功以目前國 際上報道的最高速度（每小時 3600 微米）生產出直徑 4 英寸、2 毫米厚 度的高取向碳化硅晶圓與 50 毫米高取向碳化硅管材，實現(xiàn)了關鍵基礎材 料國產化。
成果應用案例介紹
高取向碳化硅具有的優(yōu)異性能與在高新技術產業(yè)的巨大應用潛力。 例如：高取向碳化硅是制造第三代半導體的金屬有機源化學氣相沉積裝 備中的重要內襯與支撐件材料。1 臺設備 1 年就需要在碳化硅托盤上耗費 80 萬元，我國每年僅在此單一工件上就耗費 160 億元。此外，高取向碳 化硅材料還在超高速涂層刀具、光學窗口、航空航天、核防護領域市場 份額巨大，保守估計每年 2000 億國內市場，500 億海外市場。
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